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Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE

简要描述：Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE特点：
·适用于8"以下样品的处理

·等离子蚀刻机，可实现快速且一致的样品表面刻蚀

·全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布

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详细介绍

品牌	其他品牌	价格区间	面议
产地类别	国产	应用领域	医疗卫生,环保,生物产业,农业

Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE

特点：

·适用于8”以下样品的处理

·等离子蚀刻机，可实现快速且一致的样品表面刻蚀

·全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布

·电极水冷确保了样品的温度不会偏高

·工业Windows控制系统，多段程序控制功能，实现一键蚀刻功能

·适合于研究院、高校、研发中心等使用，也可小批量生产

型号	TETRA 8 RIE
控制系统	基于软件WINDOWS 10的PC控制系统
程序存储	100套
工艺过程监控	二维折线图与数字实时显示
参数偏离值设定	初抽真空时间、进气量偏差值，实际功率输出值
报错功能	显示详细的报错信息
数据导入导出	USB/TCP IP
选程控制	Team viewer
工艺气路	两路进气通道（两路腐蚀性气体）一路冲洗管路一路泄气管路
流量计	MFC流量计
真空腔体	圆形不锈钢腔体腔体尺寸：Φ280mm x D 127mm 约8L 腔体可做防腐
托盘	铝板、不锈钢板、硼硅玻璃
电极	RIE(蚀刻专用)电极配有气浴电极水冷
冷却系统	冷却真空腔体和电极
发生器	13.56 MHz 0-600W 自动匹配
安全开关	门开关、皮拉尼开关、真空开关
真空压力计	2pcs 电容式真空计
外形尺寸(W×H×D)	1800mm×2200mm×1800mm
电源	AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A
真空泵	防腐真空泵抽速不低于90 m³/h 分子泵排气速度
冷却系统	冷水机对真空腔体，电极进行冷却

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